名古屋電機工業株式会社

ハードウェアの特徴

対象物の形状を高速かつ正確に再現

高さ方向-5~+20mmの範囲を、分解能1um(バラツキ3σ±15µm*)で測定可能な4方向位相シフト方式3D照明系を搭載。微小な高さ方向の変化を捉えます。
落射照明(上段R照明)と大口径300mm円形照明(下段RGB照明)を2D照明系として搭載しており、微小な輝度変化を捉えます。文字検査等の性能が飛躍的に向上しています。
*弊社評価基板にて

広い範囲の3D・2D画像を効率よく取得

垂直カメラは、耐震対策を施した125mm径テレセントリックレンズを搭載。業界最大レベルの67.5mm×67.5mmの視野角を確保し、広い範囲を効率よく撮像します。
4方向斜めカメラ*により、垂直では撮像できない箇所も確実に撮像し検査することができます。
*工場出荷時オプション

自動バックアップ機構*により基板反りを自動補正

基板幅センターの両端部を下より押し上げるバックアップピンを搭載しており、大型基板でも反りの影響を最小化したうえで検査することができます。ON/OFFや押し上げ位置は、検査プログラム毎に登録することが可能で、手動調整は不要です。
*工場出荷時オプション