NXI-3710

X-RAY INSPECTOR ®
NXI-3710

世界最高レベルの検査性能で、
これまでの全ての検査装置を凌駕する

ナノフォーカスのX線発生器(焦点寸法0.25μm)を採用した超高精度X線検査装置です。

「正確さ(自動キャリブレーション)」、「反復能(高度な測定ロジック)」及び「再現性(専用冶具、XYZズレ補正)」を高い次元で実現し、C4はんだバンプ自動検査やLTH内部メッキ充填状態の自動検査等、半導体製造プロセスの検査に絶大な力を発揮します。さらにNFPA79規格にも対応しました。

スタンドアローンAXI 3DCT ナノフォーカスX線発生器搭載 C4バンプLTH内部の自動検査 非破壊検査解析用途

世界最高クラスのパフォーマンス

超高性能デバイスと独自ソフトウェアにより超高分解能撮影を実現

従来機比較

ナノフォーカスX線発生器(最小分解能:0.25μm)と、高感度イメージインテンシファイア検出器(傾斜検出器 / 空間分解能0.25〜2.5μm)の採用により、シャープで高精細なX線画像を取得します。微細構造解析に威力を発揮します。

安定的な高い繰り返し精度を実現

高い位置決め精度

鋳鉄定盤を基礎とした構造により、装置全体の剛性を極限まで高めております。また、各駆動部にはリニアモーターを採用し、高加速・高速駆動時でも高い位置決め精度を実現しております。さらに、エアサスペンションを搭載し、外来振動の侵入を抑制しております。これら鍛えぬいた機械構造により、高い繰り返し精度を安定的に発揮する事ができます。

大型ワークに対応

大型ワークに対応

検出器を傾斜させて撮影する傾斜型X線CT方式と、大型ステージにより、W515 X L610(mm)の大型多層基板やシート状のサンプルを切り出さずに検査可能。また、ステージ上には真空吸着テーブルを搭載しており、厚さ100μmの薄いシート状のワークでも破損や変形することなく平面保持し、検査を行うことができます。

正確で安定した自動検査

傾斜検出器から得られる3次元情報を用いることにより、高精度な超微細スルーホールの自動検査が可能です。弊社独自のソフトウェアが持つ「自動キャリブレーション機能」、「高度な測定ロジック」さらには「XYZズレ補正」により、抜群の正確性と安定性を実現します。

撮影例

CT撮影例

CT撮影例

Volume Graphics社のVGStudioを使用してレンダリングしています。

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